(주)나노텍은 ,

광학 기술, 플라즈마 진단 기술 등을 이용한 센서 제품군을 개발해 온 기술 중심의 벤처 기업으로서 

국내외 반도체/ 디스플레이 양산 제조 공정의 공정 진단 센서로 납품되고 있습니다.

플라즈마 발생 기술과 스펙트럼 분석 기술을 접목한 SPOES 센서를 국내 기술로 개발하여 

국내 반도체 제조 산업의 경쟁력 향상에 기여하고 있으며 해외 센서 업체들과 대등한 기술 경쟁을 벌이고 있습니다.

나노텍이 걸어온 발자취는 광계측 분야 발전의 역사입니다.

Nanotech is,

a technology-oriented venture developing sensor products based on optical and plasma diagnostic technology. 

We supply process diagnostic sensors for semiconductor/display mass production, at home and abroad.

We are improving competitiveness of the domestic semiconductor manufacturing industry by developing SPOES sensors 

that combine plasma generation and spectrum analysis technologies with domestic technology. 

We maintain strong competitiveness with global sensor manufacturers.

Nanotech's footsteps are the same as the history of development of the photometry sector.

제조품목: SPOES / AEGIS-7W 

[ 소형 Plasma Module을 내장하여 반도체/ 디스플레이 제조 설비의 배기 라인으로 배출되는 Gas를 분석함으로써 공정 변화 상태를 모니터링하는 센서 ]

- 오염 내구성이 강하여 장기간 PM 없이 사용 가능

- 실시간 leak 검출

- Dry cleaning endpoint 검출

- Source fault 검출

- 반도체/ 디스플레이 제조 공정 챔버의 leak를 실시간으로 검출 가능하여 대형 사고를 미연에 방지

- 반도체 분야 CVD, ALD, Diffusion, All TM 사용 가능

- 디스플레이 분야 BP(Array), TSP, EN, All TC/HC 사용 가능

- Yield 및 throughput 개선

SPOES / AEGIS-7W

[ Sensors equipped with a small plasma module analyze gas discharged to the exhaust lines of semiconductor/display manufacturing facilities to monitor the change state of processes ]

- Pollution-resistant and durable, for extended use without PM

- Detects leaks in real time

- Dry cleaning endpoint detection

- Source fault detection

- Prevents major accidents through real-time detection of leaks in semiconductor/display manufacturing process chambers

- Applied to CVD, ALD, Diffusion, All TM in the semiconductor sector

- Applied to BP (Array), TSP, EN, All TC/HC of the display sector

- Yield and throughput improvement